ASML dan Imec resmi menjalin kerja sama selama lima tahun ke depan untuk mempercepat pengembangan teknologi semikonduktor sub-2nm. Kemitraan ini memastikan bahwa pusat riset asal Belgia tersebut akan mendapatkan mesin litografi High-NA EUV terbaru dari ASML.
Proyek ini bertujuan untuk menembus batas teknologi manufaktur chip dengan menggunakan peralatan tercanggih dan berbiaya tinggi. Imec akan menyediakan fasilitas bagi para insinyur dari berbagai institusi akademik dan industri agar mereka dapat melakukan penelitian menggunakan teknologi terbaru. Sementara itu, ASML akan memastikan alat-alatnya dapat diintegrasikan ke dalam proses manufaktur chip generasi berikutnya.
Sebagai bagian dari kesepakatan, Imec akan menggunakan beberapa mesin utama dari ASML, termasuk Twinscan NXT (DUV), Twinscan NXE (Low-NA EUV dengan apertur numerik 0,33), serta Twinscan EXE (High-NA EUV dengan apertur numerik 0,55).
Selain itu, fasilitas Imec juga akan dilengkapi dengan peralatan metrologi YieldStar dan beberapa perangkat inspeksi dari HMI.
Semua peralatan terkait akan ditempatkan di fasilitas produksi percontohan Imec di Belgia, yang didanai oleh Uni Eropa dan pemerintah Belgia. Teknologi ini diperlukan untuk memungkinkan produksi chip di bawah 2nm, yang membutuhkan alat litografi dengan resolusi 8nm dalam satu kali pencetakan.
Saat ini, hanya mesin High-NA EUV dari ASML yang mampu mencapai resolusi tersebut. Namun, dengan harga sekitar $350 juta per unit, hanya sedikit perusahaan yang mampu mengadopsinya secara langsung.
Sebelumnya, para peneliti Imec harus pergi ke laboratorium ASML di Veldhoven, Belanda, untuk mengakses teknologi yang bersangkutan. Dengan adanya kesepakatan baru, mereka kini bisa melakukan penelitian langsung di Leuven, Belgia, yang diyakini akan mempercepat inovasi chip manufacturing.
Kolaborasi tersebut merupakan bagian dari proyek Next Gen-7A (IPCEI22201) dan telah mendapatkan persetujuan dari pemerintah Belanda. Langkah di atas juga sejalan dengan ambisi Uni Eropa untuk meningkatkan kemandirian teknologi, mengurangi ketergantungan pada perusahaan-perusahaan teknologi besar dari AS dan negara lainnya.